REVASUM (ASX: RVS) sichert sich eine Absichtserklärung zum Kauf eines 6EZ-Siliziumkarbid-CMP-Systems von SENIC, einem führenden Technologieunternehmen für die Herstellung von Siliziumkarbidsubstraten in Cheonan, Südkorea

Sep 07, 2023

SAN LUIS OBISPO, Kalifornien, 28. Juli 2023 /PRNewswire/ -- Dieser geplante Kauf, der im vierten Quartal 2023 an Senic ausgeliefert wird, stärkt die Position des 6EZ als flexibelste verfügbare Plattform für chemisch-mechanisches Polieren (CMP) zur Unterstützung von Siliziumkarbid (SiC)-Substratherstellung und die Herstellung von Geräten wie SiC-basierten MOSFETs.

Mit der jüngsten Veröffentlichung des 200-mm-Umrüstsatzes des 6EZ kann das Werkzeug die Herstellung von 150-mm- und 200-mm-SiC-Substraten im Senic-Werk in Cheonan, Südkorea, unterstützen.

Das 6EZ CMP-System wurde mit dem 7AF-HMG SiC-Schleifgerät von Revasum entwickelt, um durch den Schleifvorgang verursachte Schäden unter der Oberfläche zu beseitigen. Der 6EZ bietet eine minimale Gesamtdickenschwankung (TTV) über den Wafer und eine Oberflächenrauheit (RA) in der Größenordnung von 1,5 Angström.

Chris Sloan, Vizepräsident für weltweiten Vertrieb und Marketing bei Revasum, kommentierte die sich entwickelnde Partnerschaft mit diesem strategischen Kunden in Südkorea wie folgt: „Dies ist ein wichtiger nächster Schritt für Revasum in der wirklich globalen Landschaft der Herstellung von Siliziumkarbidsubstraten. Die Nachfrage nach Silizium.“ Carbide Devices zwingt internationale Lieferketten dazu, sich auszurichten, um diese Bemühungen zu unterstützen, und wir freuen uns, mit unserer branchenführenden 6EZ CMP-Plattform eine Partnerschaft mit dem innovativen Team von Senic einzugehen.“

Herr JD Seo, Vizepräsident der Wafer Business Division von Senic, sagte: „Wir glauben, dass diese Partnerschaft positive Synergien zwischen den beiden Unternehmen schaffen wird und Senic durch das 6EZ CMP-System von Revasum in der Lage sein wird, seinen Kunden SiC-Wafer mit besserer Oberflächenqualität anzubieten.“ Da sich die 6EZ bereits bei der Herstellung von Siliziumkarbidsubstraten bewährt hat, glauben wir, dass das 6EZ-System die beste Option für Senic ist, da wir unsere Produktion steigern, um den globalen Branchenanforderungen gerecht zu werden.“

Über Revasum, Inc.: Revasum (https://www.revasum.com) stellt Investitionsgüter für die Halbleiterfertigung her. Unser aktuelles Produktportfolio umfasst Schleif- und chemisch-mechanische Poliergeräte zur Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten und -Geräten für die globale Halbleiterindustrie.

Über SENIC, Inc.: SENIC (http://www.senic.co.kr) ist ein globaler Innovator bei der Herstellung von Siliziumkarbid-Wafern mit Sitz in Cheonan in Südkorea. Das Unternehmen bietet 150-mm- und 200-mm-Siliziumkarbid (SiC)-Ingots und -Substrate für die HF- und Leistungselektronik sowie einen Rückgewinnungsservice für SiC-Wafer.

Medienkontakt: Bruce [email protected]

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